Изменение рассеянной мощности поверхностной акустической волны, распространяющейся по поверхности арсенида галлия в процессе осаждения пленок золота

Проведены исследования изменения потерь мощности поверхностных акустических волн в приповерхностных слоях высокоомного арсенида галлия в процессе осаждения золота. Обнаружено, что такие характеристики распространения поверхностных акустических волн, как амплитуда и, определяемые из нее колебания величины потерь на распространение, в силу особенностей расположения их векторов, отражают изменения структуры и состава в приграничных слоях Au-GaAs по мере осаждения золота в плоскости, перпендикулярной к поверхности GaAs. Спектральная характеристика рассеянной мощности отражает главным образом агрегатное состояние приповерхностных слоев и возможность поворота кристаллизованных островков в согласии с распределением линий напряженности (деформации или электрического поля) в приповерхностном слое. Изменение величины потерь энергии поверхностных акустических волн характеризуется не только числом выпавших островков, но и связано с типом деформации приповерхностного слоя.