Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления

Авторы:
В.Г. Конаков И.А. Овидько О.Ю. Курапова Н.Н. Новик И.Ю. Арчаков
Аннотация:

Разработана методика изготовления мишеней для магнетронного напыления из нанокерамики на основе диоксида циркония, стабилизированного диоксидом иттрия. Примененная технология синтеза порошков-прекурсоров наноразмерного диоксида циркония, синтезированных золь-гель методом в варианте обратного соосаждения и их обработки методом лиофильной сушки дает возможность сохранения высокой дисперсности и низкой степени агломерированности образцов в широком температурном интервале. Использование таких порошков-прекурсоров обеспечивает возможность создания циркониевых керамик, не содержащих неорганических связок, полностью удовлетворяющих требованиям, предъявляемым к материалу мишеней для магнетронного напыления.