МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "DUV-lithography"

Nanostructuring of Polymers in Liquid by the Use of Polymer Crazing

A.S. Körbes L.J. Balk J.W. Schultze
  • Год: 2002
  • Том: 5
  • Выпуск: 1
  • 4
  • 980
  • Страницы: 56-60