МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "RF sputtering technique"

Effect of the distance between cathode and substrate on structural and optical properties of zinc oxide thin films deposited by RF sputtering technique

Mohibul Khan Sk. Faruque Ahmed
  • Год: 2021
  • Том: 47
  • Выпуск: 6
  • 34
  • 1629
  • Страницы: 872-884