МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "SiC actuation layer"

Silicon carbide membranes for micro-electro-mechanical-systems based CMUT with influence factors

Pal M. Maity N.P. Maity R.
  • Год: 2022
  • Том: 49
  • Выпуск: 1
  • 33
  • 633
  • Страницы: 85-96