МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "magnetron spattering"

Structure and properties of nanoporous oxide dielectrics modified by carbon

Yu.V. Sakharov
  • Год: 2020
  • Том: 44
  • Выпуск: 1
  • 9
  • 1165
  • Страницы: 110-115