Статьи по ключевому слову "mechanical%20stress;%20silicon%20film;%20SiOx;%20PECVD;%20profilometry" | Механика и физика материалов

МФМ

Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого

Издается с 2000

ISSN 1605-8119

Подать статью

Статьи по ключевому слову "mechanical%20stress;%20silicon%20film;%20SiOx;%20PECVD;%20profilometry"