МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "microelectromechanical system"

MEMS gas sensor of resistive type for detection of hydrogen sulfide down to low concentrations

Komarevtsev I.M. Kondrateva A. Kazakin A.N. Enns Ya.B. Lazdin I.A. Karaseov P.A. Akulshin U.D.
  • Год: 2024
  • Том: 52
  • Выпуск: 4
  • 53
  • 2682
  • Страницы: 9-22