МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "tantalum nitride films"

Microstructure and nanomechanical properties of TaN coating prepared by RF magnetron sputtering

Saravanakumar G. Gomathi P. Bharathi V. Ravikumar L. Balakrishnan G.
  • Год: 2025
  • Том: 53
  • Выпуск: 5
  • 2
  • 34
  • Страницы: 90-98