МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "titanium nitride; XRD; AFM; sputtering"

Physical properties of titanium nitride thin film prepared by DC magnetron sputtering

Reza Bavadi Sh. Valedbagi
  • Год: 2012
  • Том: 15
  • Выпуск: 2
  • 2
  • 754
  • Страницы: 167-172