МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "uncooled target"

The effect of the magnetron discharge power on the deposition rate of chrome coating obtained by spattering an uncooled extended target

Kachalin G.V. Medvedev K.S. Tkhabisimov A.B. Iliukhin D.I.
  • Год: 2025
  • Том: 53
  • Выпуск: 2
  • 10
  • 272
  • Страницы: 149-156