МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Автор O.A. Ageev
Подать статью
Последние выпуски
O.A. Ageev
  • Место работы
    Southern Federal University
  • Rostov-on-Don, Russia

Effect of PECVD conditions on mechanical stress of silicon films

E.Yu. Gusev J.Y. Jityaeva O.A. Ageev
  • Год: 2018
  • Том: 37
  • Выпуск: 1
  • 14
  • 1144
  • Страницы: 67-72