Последние выпуски
- 2026,Том 54Выпуск 2
- 2026,Том 54Выпуск 1
- 2025,Том 53Выпуск 6
- 2025,Том 53Выпуск 5
Ageev
Место работы
Southern Federal University
Rostov-on-Don, Russia
Effect of PECVD conditions on mechanical stress of silicon films
- Год: 2018
- Том: 37
- Выпуск: 1
- 19
- 2670
- Страницы: 67-72