D.V. Leshchev
  • Место работы
    Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University
  • St.Petersburg, Russia

Gas-jet method of metal film deposition: direct simulation monte-carlo of He-Ag mixture flow

  • Год: 2018
  • Том: 38
  • Выпуск: 1
  • 11
  • 1273
  • Страницы: 119-130