МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "ALD method"

Formation of ordered ZnO structures grown by the ALD method on hybrid SiC/Si (100) substrates

С.А. Кукушкин А.В. Осипов I.A. Kasatkin V.Y. Mikhailovskii A.I. Romanychev
  • Год: 2019
  • Том: 42
  • Выпуск: 1
  • 6
  • 1177
  • Страницы: 30-39