Статьи по ключевому слову "silicon carbide; epitaxy; thin film growth"

Formation of ordered ZnO structures grown by the ALD method on hybrid SiC/Si (100) substrates

  • Год: 2019
  • Том: 42
  • Выпуск: 1
  • 6
  • 1137
  • Страницы: 30-39