МФМ
    Механика и физика материаловСанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
    Издается с 2000
    ISSN 1605-8119
    ruРусский
    Версия для слабовидящих
    АвторNikitina
    Подать статью
    Последние выпуски
    Nikitina
    Nikitina
    Место работы
    Alferov University
    Saint Petersburg, Russia

    Peculiarities of the two-stage Zn diffusion profile formation from vapor phase into InGaAs/InP heterostructure for avalanche photodiode fabrication

    S.A. BlokhinLevin R.V.Epoletov V.S. Kuzmenkov A.G.A.A. BlokhinBobrov M.A.Kovach Y.N. Maleev N.A. Nikitina E.V.Andryushkin V.V.Vasil’ev A.P. Voropaev K.O.
    • Год: 2023
    • Том: 51
    • Выпуск: 4
    • 33
    • 1903
    • Страницы: 66-75

    Surface morphology of InGaAs and InP layers after local Zn diffusion from the vapor phase in the MOCVD reactor

    S.A. BlokhinLevin R.V.Epoletov V.S. Kuzmenkov A.G.A.A. BlokhinBobrov M.A.Kovach Y.N. Maleev N.A. Prasolov N.D.Kulagina M.M.Guseva Yu.А.Zadiranov Yu.М.Nikitina E.V.Andryushkin V.V.Vasil’ev A.P. Voropaev K.O.
    • Год: 2023
    • Том: 51
    • Выпуск: 5
    • 60
    • 2315
    • Страницы: 142-151