МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "CVD"

Tool wear and surface roughness analysis in hard turning of AISI 4340 steel with coated carbide inserts

Zulfiqar M. Jamali A.S. Hussain S.
  • Год: 2026
  • Том: 54
  • Выпуск: 1
  • 10
  • 112
  • Страницы: 101-117

Spalling-induced β-Ga2O3 lift-off protocol

P.N. Butenko А.В. Чикиряка M.E. Boiko Гузилова Л.И. В.М. Крымов Obidov B.A. Р.Б. Тимашов Shapenkov S.V. M.D. Sharkov В.И Николаев
  • Год: 2024
  • Том: 52
  • Выпуск: 5
  • 24
  • 2881
  • Страницы: 55-63

Effect of PECVD conditions on mechanical stress of silicon films

E.Yu. Gusev J.Y. Jityaeva O.A. Ageev
  • Год: 2018
  • Том: 37
  • Выпуск: 1
  • 19
  • 2460
  • Страницы: 67-72

Hot Wire CVD of Heterogeneous and Polycrystalline Silicon Semiconducting Thin Films for Applications in Thin Film Transistors and Solar Cells

  • Год: 2000
  • Том: 1
  • Выпуск: 2
  • 9
  • 2761
  • Страницы: 73-82