МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "CVD"

Spalling-induced β-Ga2O3 lift-off protocol

P.N. Butenko А.В. Чикиряка M.E. Boiko Гузилова Л.И. В.М. Крымов Obidov B.A. Р.Б. Тимашов Shapenkov S.V. M.D. Sharkov В.И Николаев
  • Год: 2024
  • Том: 52
  • Выпуск: 5
  • 23
  • 2413
  • Страницы: 55-63

Effect of PECVD conditions on mechanical stress of silicon films

E.Yu. Gusev J.Y. Jityaeva O.A. Ageev
  • Год: 2018
  • Том: 37
  • Выпуск: 1
  • 19
  • 1975
  • Страницы: 67-72

Hot Wire CVD of Heterogeneous and Polycrystalline Silicon Semiconducting Thin Films for Applications in Thin Film Transistors and Solar Cells

  • Год: 2000
  • Том: 1
  • Выпуск: 2
  • 7
  • 2243
  • Страницы: 73-82