МФМ
Механика и физика материалов Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2000
ISSN 1605-8119
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "halide vapor phase epitaxy"

Effect of Si+ ion irradiation of α-Ga2O3 epitaxial layers on their hydrogen sensitivity

Yakovlev N.N. Алмаев А.В. P.N. Butenko Mikhaylov A.N. А.И. Печников С.И. Степанов Р.Б. Тимашов А.В. Чикиряка В.И Николаев
  • Год: 2022
  • Том: 48
  • Выпуск: 3
  • 88
  • 1775
  • Страницы: 301-307

Growth of thick gallium oxide on the various substrates by halide vapor phase epitaxy

А.В. Кремлева Ш.Ш. Шарофидинов А.М. Смирнов E. Podlesnov Дорогов М.В. М.А. Одноблюдов В.Е. Бугров Романов А.Е.
  • Год: 2020
  • Том: 44
  • Выпуск: 2
  • 64
  • 2915
  • Страницы: 164-171